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資料名稱

PET瓶內鍍DLC薄膜的結構、成分研究

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資料來源

中華包裝瓶網

資料類別

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資料大小

260KB

添加時間

2010/5/28 15:25:55

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資料說明

本文采用射頻等離子體化學氣相沉積（RF-PECVD）技術，以C2H2為碳源，Ar為稀釋氣體，在普通PET瓶內制備類金剛石（Diamond-like Carbon, 簡稱DLC）薄膜作為高阻隔層。采用傅立葉紅外透射光譜(FTIR)對其進行結構、成分進行分析。結果表明,射頻等離子體化學氣相沉積方法，可以在很短時間內于PET瓶內沉積一層納米厚度的DLC膜。傅立葉紅外透射光譜(FTIR)分析表明選用規格不同的電極，對于所制備的DLC的結構影響很大,同時薄膜結構中SP2 和SP3比例和放電功率有較大的關系，而薄膜的成分受乙炔的比例的影響也不容忽視。